РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА
Пресса о нас www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН
ДИРЕКТОР
НАУЧНЫЙ
РУКОВОДИТЕЛЬ
Информация ФАНО
ПРИКЛАДНЫЕ
НАУЧНЫЕ
ИССЛЕДОВАНИЯ
АНТИКОРРУПЦИОННАЯ
ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
ПАРТНЕРЫ
СИМПОЗИУМ
ISMTII-2009
NSC-SB RAS
Symposium-2013
ГОРЯЧЕЕ
ПРЕДЛОЖЕНИЕ
КОНТАКТЫ И
РЕКВИЗИТЫ
ВАКАНСИИ
Счетчик посещений
C 1 января 2015 г.
Посетителей
Посещений
0 1 3 2 3 7
1 2 1 4 7 3

" CLWS-300"
РАЗРАБОТКИ > " CLWS-300"

ЛАЗЕРНЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ ИЗОБРАЖЕНИЙ СЕРИИ CLWS-300

(совместная разработка КТИ НП и ИАиЭ СО РАН)

НАЗНАЧЕНИЕ
  • cинтез прецизионных хромовых шаблонов или мастер-оригиналов элементов плоской двухмерной (2D) оптики
  • запись дифракционных структур на осесимметричных трехмерных (3D) оптических поверхностях

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Пространственное разрешение до 1000 лин./мм
Разрешение по радиальной координате не хуже 10 нм
Разрешение по угловой координате не хуже 0.25 угл. с
Диапазон перемещения по вертикальной координате до 25 мм
Погрешность автофокусировки ±0,05 мкм
Светочувствительный слой пленки хрома, фоторезист, халькогениды, LDW стекла
Материал стекло, кварц

Схема оптической головки записи с самонастраивающейся системой автофокусировки

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Основан на формировании изображений сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования за счет взаимодействия его с материалом в точно заданных участках рабочего поля установки. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения) и режима записи т.н. "скрытых" изображений.

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
  • большое рабочее поле
  • высокое разрешение
  • высокая точность формирования топологии элементов
  • простота и дешевизна технологии
  • возможность записи на двухмерных (2D) и трехмерных (3D) поверхностях
  • наличие самонастраивающейся системы автофокусировки для поиска и захвата поверхности записи и удержания микрообъектива в положении наилучшей фокусировки.

Коммерческие образцы сданы в эксплуатацию:

Германия
  • Институт технической оптики Штутгарского университета,
  • Берлинский институт оптики
Италия
  • Исследовательский центр ФИАТ
Россия
  • Уральский оптико-механический завод, г.Екатеринбург
  • ОАО "Геофизика-Космос" г.Москва
Китай
  • Институт физики аэрокосмической корпорации, г.Ланчжоу

Области применения:

  • Синтез элементов дифракционной оптики диаметром до 280 мм
  • Синтез высокоточных углоизмерительных структур (достигнут фактор нестабильности не более 0.144 мкм, что позволяет синтезировать структуры диаметром 100 мм с погрешностью не более 0.6 угловой секунды, а структуры диаметром 280 мм - не более 0.2 угловой секунды)
  • Синтез злементов макромеханики (погрешность формирования на порядок ниже, чем с помощью X-Y генераторов изображений)
  • ЛГИ-2