РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА
Пресса о нас www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН
ДИРЕКТОР
НАУЧНЫЙ
РУКОВОДИТЕЛЬ
Информация ФАНО
ПРИКЛАДНЫЕ
НАУЧНЫЕ
ИССЛЕДОВАНИЯ
АНТИКОРРУПЦИОННАЯ
ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
ПАРТНЕРЫ
СИМПОЗИУМ
ISMTII-2009
NSC-SB RAS
Symposium-2013
ГОРЯЧЕЕ
ПРЕДЛОЖЕНИЕ
КОНТАКТЫ И
РЕКВИЗИТЫ
ВАКАНСИИ
Счетчик посещений
C 1 января 2015 г.
Посетителей
Посещений
0 1 3 9 0 3
1 2 8 5 5 5

"КРТ"

СИСТЕМА КОНТРОЛЯ КРТ ПЛАСТИН

НАЗНАЧЕНИЕ
Автоматическое обнаружение и измерение дефектов на поверхности кремниевых пластин, используемых при изготовлении термочувствительных линеек и матриц.


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Кратность (увеличение) изображения на камере 2,5x, 10x, 20x, 40x
Диапазон перемещений объекта (стола) по осям X и Y 0 – 50 мм
Скорость перемещения стола 0,5 мм/с
Минимальный размер обнаруживаемых дефектов 2 мкм
Максимальный размер обнаруживаемых дефектов 200 мкм
Погрешность определения линейных размеров дефектов в диапазоне от 20 мкм до 200 мкм 20%, не более
Время обработки одного кадра изображения 1 с
Число элементов разложения изображения 756x581
Количество уровней яркости изображения 256

Карта плотности дефектов

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ
Автоматический режим:
  • сканирование и ввод в компьютер изображений различных участков пластины
  • поиск дефектов и определение их размеров
  • составление карты плотности дефектов на разных участках пластины и их статистического распределения по размерам
Интерактивный режим:
  • ввод изображений с микроскопа
  • сохранение в файлах, визуализация на мониторе и распечатка изображений
  • получение численных характеристик указанных оператором дефектов (линейных размеров, площадей и формы)

Система может использоваться в промышленности и для научных исследований.

lsp-2000 РАЗРАБОТКИ