РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА
Пресса о нас www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН
ДИРЕКТОР
НАУЧНЫЙ РУКОВОДИТЕЛЬ
Информация ФАНО
ПРИКЛАДНЫЕ
НАУЧНЫЕ
ИССЛЕДОВАНИЯ
ПАРТНЕРЫ
СИМПОЗИУМ
ISMTII-2009
NSC-SB RAS
Symposium-2013
ГОРЯЧЕЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
КОНТАКТЫ И
РЕКВИЗИТЫ
ВАКАНСИИ
Счетчик посещений
C 1 января 2015 г.
Посетителей
Посещений
0 1 1 5 1 6
1 0 1 2 2 4

"ЛГИ-2"

Лазерный генератор изображений нового поколения на основе полупроводникового лазера (ЛГИ-2)

(совместная разработка КТИ НП и ИАиЭ СО РАН)

НАЗНАЧЕНИЕ

Формирование непрерывного профиля произвольной топологии на плоских и криволинейных поверхностях.

Принцип действия

Основан на формировании изображений в материалах (хром, фоторезист) сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения).

Поставляется по контракту в КНР (HIT)

Отличительные особенности:

  1. Переход на полупроводниковый лазер (λ = 405 нм) позволил:
    - уменьшить влияние турбулентности и дрейфа положения лазера относительно оптической головки благодаря размещению на портале;
    - сократить длину оптического канала;
    - избавиться от водяного охлаждения и связанных с ним шумов;
    - расширить динамический диапазон экспонирующей мощности за счет программного управления лазером;
    - повысить разрешение за счет уменьшения λ.
  2. Уменьшение температурных дрейфов за счет особой конструкции механических частей
  3. Снижение массо-габаритных характеристик.
  4. Увеличение рабочего хода каретки в 2 раза
  5. Увеличение конкурентоспособности ЛГИ за счет применения прецизионного датчика перемещения и углового датчика от известных мировых производителей
  6. Новое программное обеспечение для записи 3D структур на выпуклых и вогнутых поверхностях

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Пространственное разрешение до 1000 лин./мм
Разрешение по радиальной координате не хуже 1 нм
Разрешение по угловой координате не хуже 0.25 угл. с
Диапазон перемещения по вертикальной координате до 25 мм
Погрешность автофокусировки ± 0.05
Светочувствительный слой пленки хрома, фоторезист
Материал подложки стекло, кварц

Фрагмент одного квадранта 15-разрядного абсолютного углового датчика с кодом Грея на диаметре 40 мм
Тестовое изображение для исследования про цесса записи по хрому (диаметр 350 мкм, минимальные размеры элементов 10 х 10 мкм).
Тест N100 ( две шкалы с разностью периодов 0.3 км)                                               
Интерферограмма поверхности дифракционного оптического элемента. Ошибка волнового фронта λ/100.


CLWS-300 LSP