РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА
Пресса о нас www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН
ДИРЕКТОР
НАУЧНЫЙ
РУКОВОДИТЕЛЬ
Информация ФАНО
ПРИКЛАДНЫЕ
НАУЧНЫЕ
ИССЛЕДОВАНИЯ
АНТИКОРРУПЦИОННАЯ
ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
ПАРТНЕРЫ
СИМПОЗИУМ
ISMTII-2009
NSC-SB RAS
Symposium-2013
ГОРЯЧЕЕ
ПРЕДЛОЖЕНИЕ
КОНТАКТЫ И
РЕКВИЗИТЫ
ВАКАНСИИ
Счетчик посещений
C 1 января 2015 г.
Посетителей
Посещений
0 1 2 6 3 3
1 1 4 6 4 9

ЛЛПС

Общая численность 11 чел.

Зав. лабораторией д.т.н. Пальчикова Ирина Георгиевна

Основные направления деятельности

  • Разработка теоретических и практических основ создания прецизионных устройств и систем для микронных, субмикронных и нанотехнологий
  • Разработка новых технологий синтеза дифракционных оптических элементов (ДОЭ) и аппаратуры для их контроля
  • Изготовление и поставка заказчикам лазерных записывающих комплексов для производства ДОЭ, высокоточных круговых шкал, лимбов, и многоразрядных преобразователей угол-код
  • Изготовление координатно-измерительных систем с нанометровым разрешением

Лаборатория лазерных прецизионных систем была создана на базе научно-исследовательского отдела СКБ НП в 1990 г. Основным научным направлением лаборатории стали исследования в области микронных, субмикронных и нанотехнологий.

В конце 1994 г. сотрудники лаборатории завершили разработку опытного образца лазерного генератора изображений субмикронного разрешения модели CLWS -300.

В основу разработки легли результаты НИР, полученные в лаборатории лазерных технологий Института автоматики и электрометрии СО РАН. Принцип действия установки основан на формировании в светочувствительном материале скрытого изображения будущих элементов. В качестве материала для записи изображений используются пленки металлического хрома или фоторезиста.

Запись топологии элементов ведется в режиме непрерывного кругового сканирования под управлением компьютера.

С 1995 г. по 2002 г. Институт совместно с Институтом автоматики и электрометрии поставил по зарубежным контрактам четыре лазерных генератора изображений - в Германию, Италию, Китай, в т.ч. более совершенные модели генераторов изображений CLWS - 300/С и CLWS - 300/С - М. Последняя модель обеспечивает запись элементов на криволинейных поверхностях, что позволяет расширить область применения компьютерно-синтезированной оптики.

КТИ НП имеет опыт поставки лазерных генераторов изображений отечественным заказчикам (Уральский оптико-механический завод, г. Екатеринбург; НПП «Геофизика-Космос», г. Москва).

Цифровые системы управления, входящие в состав установки, обеспечивают:

  • перемещение записывающей головки в радиальном направлении с разрешением порядка 0,6 нанометра
  • позиционирование луча на фоточувствительном материале в угловом направлении с разрешением порядка 0,25 угловой секунды
  • фокусировку излучения на поверхности светочувствительного материала с погрешностью до 0,05 микрон в диапазоне до 25 миллиметров

Лазерные генераторы изображение позволяют изготавливать:

  • особоточные угловые шкалы и оцифрованные лимбы, многоразрядные кодовые диски
  • элементы дифракционной оптики
  • узлы и элементы микромеханики
  • производить "разметку" мастер - дисков оптической памяти