РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА
Пресса о нас www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН
ДИРЕКТОР
НАУЧНЫЙ
РУКОВОДИТЕЛЬ
Информация ФАНО
ПРИКЛАДНЫЕ
НАУЧНЫЕ
ИССЛЕДОВАНИЯ
АНТИКОРРУПЦИОННАЯ
ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
ПАРТНЕРЫ
СИМПОЗИУМ
ISMTII-2009
NSC-SB RAS
Symposium-2013
ГОРЯЧЕЕ
ПРЕДЛОЖЕНИЕ
КОНТАКТЫ И
РЕКВИЗИТЫ
ВАКАНСИИ
Счетчик посещений
C 1 января 2015 г.
Посетителей
Посещений
0 1 2 6 3 3
1 1 4 6 3 9

"НАНОПРОФИЛОМЕТР"
РАЗРАБОТКИ > "Нанопрофилометр"

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП-НАНОПРОФИЛОМЕТР МНП

ОПИСАНИЕ
Микроскоп МНП работает в двух режимах:
  • Режим нано-измерения предназначен для измерения высоты рельефа поверхностей высокого класса чистоты с разрешением менее 0.1 нм в диапазоне от 0 до 50 мкм.
  • Режим микро-измерения предназначен для измерения высоты рельефа «грубых» поверхностей в диапазоне от 0 до 10 мм с разрешением менее 0.1 мкм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Измерение нанорельефа
диапазон измерений по высоте от 0 до 50 мкм
разрешение по высоте 0.1 нм
поперечное разрешение 1,7 / 0.8 / 0.3 мкм
зона измерения 2.4х1.8 /1.1х0.8/0.5х0.34 мм2
Измерение микрорельефа
диапазон измерений по высоте от 0 до 10 мм
разрешение по высоте 0.1 мкм
поперечное разрешение 1.7 / 0.8 / 0.3 мкм
зона измерения 2.4х1.8 /1.1х0.8/0.5х0.34 мм2

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
  • компактность;
  • высокое быстродействие;
  • устойчивость к внешним вибрациям;
  • высокая степень автоматизации процесса измерения;
  • развитый программный интерфейс пользователя;
  • высококачественный графический интерфейс для работы с многоплановыми 3D-представлениями результатов измерения;
  • широкие возможности настройки микроскопа на разные типы морфологии измеряемых поверхностей;
  • возможность работы в двухволновом режиме;
  • автоматизированное позиционирование объекта измерения по трём координатам;
  • возможность измерения больших площадей путём сшивки результатов отдельных измерений;
  • уникальная система хранения и систематизации результатов измерения.

Рабочее место

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Принцип действия основан на использовании интерференции частично-когерентного света. Измерение производится посредством сканирования рельефа измеряемой поверхности по высоте. При измерении используется как амплитудная, так и фазовая информация автокорреляционной функции интерферирующего света. Такой принцип позволяет производить измерения в широком диапазоне и решать большинство измерительных задач, как в производстве, так и в научных исследованиях.

ГАЛЕРЕЯ
микроизмерения

структура в полимере

след от авторучки на бумаге

слой кварца на стекле

наноизмерения

полоска на полупроводнике

структура на полупроводнике

слой металла на кремнии

ПАТЕНТНАЯ ЗАЩИТА
Получен патент на способ измерения профиля поверхности №2245515. Российская федерация от 27.01.05

ПРОФИЛЬ ТОМОГРАФ