"-2":
НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование непрерывного профиля произвольной топологии на плоских и криволинейных поверхностях
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Основан на формировании изображений в материалах (хром, фоторезист) сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения)

• температурных дрейфов за счет особой конструкции механических частей
• Увеличен рабоч ход каретки
• полупроводников лазер (λ = 405 нм) :
   - уменьшить влияние турбулентности и дрейфа положения лазера относительно оптической головки
     благодаря размещению на портале;
   - сократить длину оптического канала;
   - избавиться от водяного охлаждения и связанных с ним шумов;
   - расширить динамический диапазон экспонирующей мощности за счет программного управления
     лазером;
   - повысить разрешение за счет уменьшения λ.
• рограммное обеспечение для записи 3D структур на выпуклых и вогнутых поверхностях
• рименени прецизионного датчика перемещения и углового датчика от известных мировых
   производителей

Пространственное разрешение до 1000 лин./мм
Разрешение по радиальной координате не хуже 1 нм
Разрешение по угловой координате не хуже 0.25 угл. с
Диапазон перемещения по вертикальной координате до 25 мм
Погрешность автофокусировки ± 0.05 мкм
Светочувствительный слой пленки хрома, фоторезист
Материал подложки стекло, кварц
-
КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
ВСЕ ПРАВА ЗАЩИЩЕНЫ © 1990 - 2021