НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование непрерывного профиля произвольной топологии на плоских и криволинейных поверхностях
Формирование непрерывного профиля произвольной топологии на плоских и криволинейных поверхностях
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Основан на формировании изображений в материалах (хром, фоторезист) сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения)
Основан на формировании изображений в материалах (хром, фоторезист) сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения)
ОСОБЕННОСТИ
• Малый температурных дрейфов за счет особой конструкции механических частей
• Увеличеный рабочий ход каретки
• Применение полупроводникового лазера (λ = 405 нм) позволило:
- уменьшить влияние турбулентности и дрейфа положения лазера относительно оптической головки
благодаря размещению на портале;
- сократить длину оптического канала;
- избавиться от водяного охлаждения и связанных с ним шумов;
- расширить динамический диапазон экспонирующей мощности за счет программного управления
лазером;
- повысить разрешение за счет уменьшения λ.
• Программное обеспечение для записи 3D структур на выпуклых и вогнутых поверхностях
• Применение прецизионного датчика перемещения и углового датчика от известных мировых
производителей
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
• Малый температурных дрейфов за счет особой конструкции механических частей
• Увеличеный рабочий ход каретки
• Применение полупроводникового лазера (λ = 405 нм) позволило:
- уменьшить влияние турбулентности и дрейфа положения лазера относительно оптической головки
благодаря размещению на портале;
- сократить длину оптического канала;
- избавиться от водяного охлаждения и связанных с ним шумов;
- расширить динамический диапазон экспонирующей мощности за счет программного управления
лазером;
- повысить разрешение за счет уменьшения λ.
• Программное обеспечение для записи 3D структур на выпуклых и вогнутых поверхностях
• Применение прецизионного датчика перемещения и углового датчика от известных мировых
производителей
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Пространственное разрешение | до 1000 лин./мм |
| Разрешение по радиальной координате | не хуже 1 нм |
| Разрешение по угловой координате | не хуже 0.25 угл. с |
| Диапазон перемещения по вертикальной координате | до 25 мм |
| Погрешность автофокусировки | ± 0.05 мкм |
| Светочувствительный слой | пленки хрома, фоторезист |
| Материал подложки | стекло, кварц |
НАУЧНОГО
ИНСТИТУТ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ
КОНСТРУКТОРСКО-
СО РАН
ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
ВСЕ ПРАВА ЗАЩИЩЕНЫ © 1990 - 2021
Контакты:
Email: info@tdisie.nsc.ru
Телефон: 8-(383)-306-62-08
Email: info@tdisie.nsc.ru
Телефон: 8-(383)-306-62-08