"МНП-1":
 
Интерференционный микроскоп-нанопрофилометр
НАЗНАЧЕНИЕ
Бесконтактное измерение микро- и нанорельефа поверхностей
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Измерения основаны на использовании интерференции
частично-когерентного света. Для формирования
интерференции света используется интерферометр,
выполненный по схеме микроинтерферометра Линника
РЕЖИМЫ РАБОТЫ
• микроизмерение высоты рельефа "грубых" поверхностей в диапазоне до 19 мм
  с разрешением ~ 1 мкм
• наноизмерение высоты рельефа поверхностей высокого класса чистоты  в диапазоне до 150 нм с разрешением ~ 1 нм
Применение атомно-гладкого зеркала позволяет повысить разрешение по глубине свыше 0,05 нм
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Область измерения, мм Микрорежим Макрорежим
При увеличении 5х 2,2*1,4
При увеличении 10х 1,1*0,7
При увеличении 20х 0,55*0,35
Диапазон измеряемых высот мм нм
При увеличении 5х до 19 до 150
При увеличении 10х до 10 до 150
При увеличении 20х до 2,5 до 150
Разрешение по высоте ~ 1 мкм ~ 1 нм
ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
• высокое быстродействие
• высокая степень автоматизации процесса измерения
• высококачественный графический интерфейс для работы с многоплановыми 3D-представлениями результатов измерения
• широкие возможности настройки микроскопа на разные типы морфологии измеряемых поверхностей
• позиционирование объекта измерения по трём координатам
НАУЧНОГО
ИНСТИТУТ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ
КОНСТРУКТОРСКО-
СО РАН
ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Контакты:
Email: info@tdisie.nsc.ru
Телефон: 8-(383)-306-62-08
КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
ВСЕ ПРАВА ЗАЩИЩЕНЫ © 1990 - 2023
НОВОСТИ