Интерференционный микроскоп-нанопрофилометр
НАЗНАЧЕНИЕ
Бесконтактное измерение микро-и нанорельефа поверхностей
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Основан на  измерении фазовой функции волнового фронта, рассеянного объектом света.
РЕЖИМЫ РАБОТЫ
• режим микро-измерение высоты рельефа с глубиной "грубых" поверхностей в диапазоне от 0 до 10 мм
  с разрешением  менее 0,1 мкм
• режим нано-измерение высоты с глубиной рельефа поверхности высокого класса чистоты с разрешением менее 0,1 нм в диапазоне от 0 до 50 мкм
Применение атомно-гладкого зеркала позволяет повысить разрешение по глубине свыше 0,05 нм
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Область измерения, мм Микрорежим Макрорежим
При увеличении 5х 2,2*1,4
При увеличении 10х 1,1*0,7
При увеличении 20х 0,55*0,35
Диапазон измеряемых высот мм нм
При увеличении 5х до 19 от 15
При увеличении 10х до 10 до 150
При увеличении 20х до 2,5  
Разрешение по высоте ~ 1 мкм ~ 1 нм
"МНП":
 
ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
• высокое быстродействие
• Высокая степень автоматизации процесса измерения
• высококачественный графический интерфейс для работы с многоплановыми 3D-представлениями результатов измерения
• широкие возможности настройки микроскопа на разные типы морфологии измеряемых поверхностей
• возможность работы в двухволновом режиме
• автоматизированной позиционирование объекта измерения по трем координатам
• возможность измерения больших площадей путем сшивки результатов отдельных ихмерений
• устойчивость к внешним вибрациям
НАУЧНОГО
ИНСТИТУТ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ
КОНСТРУКТОРСКО-
СО РАН
ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Контакты:
Email: info@tdisie.nsc.ru
Телефон: 8-(383)-306-62-08
КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
ВСЕ ПРАВА ЗАЩИЩЕНЫ © 1990 - 2023
НОВОСТИ