Интерференционный микроскоп-нанопрофилометр
НАЗНАЧЕНИЕ
Бесконтактное измерение микро- и нанорельефа поверхностей
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Измерения основаны на использовании интерференции
частично-когерентного света. Для формирования
интерференции света используется интерферометр,
выполненный по схеме микроинтерферометра Линника
РЕЖИМЫ РАБОТЫ
• микроизмерение высоты рельефа "грубых" поверхностей в диапазоне до 19 мм
с разрешением ~ 1 мкм
• наноизмерение высоты рельефа поверхностей высокого класса чистоты в диапазоне до 150 нм с разрешением ~ 1 нм
Применение атомно-гладкого зеркала позволяет повысить разрешение по глубине свыше 0,05 нм
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Область измерения, мм |
Микрорежим |
Макрорежим |
| При увеличении 5х |
2,2*1,4 |
| При увеличении 10х |
1,1*0,7 |
| При увеличении 20х |
0,55*0,35 |
| Диапазон измеряемых высот |
мм |
нм |
| При увеличении 5х |
до 19 |
до 150 |
| При увеличении 10х |
до 10 |
до 150 |
| При увеличении 20х |
до 2,5 |
до 150 |
| Разрешение по высоте |
~ 1 мкм |
~ 1 нм |
ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
• высокое быстродействие
• высокая степень автоматизации процесса измерения
• высококачественный графический интерфейс для работы с многоплановыми 3D-представлениями результатов измерения
• широкие возможности настройки микроскопа на разные типы морфологии измеряемых поверхностей
• позиционирование объекта измерения по трём координатам
КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
ВСЕ ПРАВА ЗАЩИЩЕНЫ © 1990 - 2023