Контролируемые параметры | Диапазон измерения | Предел допустимой погрешности, мкм |
Диаметр вписанной окружности в ячейку |
9,0 … 12,5 | ±0,03 |
Диаметр вписанной окружности в отверстие под канал |
12,0 … 13,5 | ±0,03 |
Позиционное отклонение | 0 … 1,5 | ±0,1 |