Основные результаты:
1. Разработана и изготовлена установка для контроля геометрических параметров каналов стволов нарезного стрелкового оружия. В основу работы системы положен метод структурного освещения контролируемой поверхности световым кольцом, формируемым прецизионным дифракционным элементом. В установке применяется оригинальная оптическая схема в виде компактного зонда. Погрешность измерения геометрических параметров ± 0,003 мм. Диаметр контролируемого канала 12,6 - 13,2 мм.
2. Впервые предложена и разработана конструктивная (приближённая) теория формирования изображений бинарных объектов в частично когерентной дифракционно-ограниченной системе применительно к их размерному контролю. Предложенная теория позволяет, например, для одномерных объектов решение двумерной задачи свести к одномерной. Теория допускает простую физическую интерпретацию явлений в частично когерентных проекционных системах. Она обобщена на случай двумерных бинарных объектов и сводится к вычислению двумерных интегралов вместо четырёхмерных при традиционном описании процессов формирования изображений в частично когерентном свете.
3. Разработан метод повышения разрешающей способности линейных измерений в оптическом интерференционном микроскопе. Метод основан на совмещении результатов измерения микроскопа (3D нанорельеф ступенчатых структур) и датчика обнаружения резкого края, позволяющего измерять расстояние между краями ступенчатых структур с высоким разрешением. Создана экспериментальная установка, реализующая измерения на основе предложенного метода в автоматизированном режиме. Экспериментально установлено, что использование предложенного метода позволяет производить измерение поперечных размеров ступенчатых структур с разрешающей способностью 0,243 мкм, что в 3,5 раза лучше, чем расчетная разрешающая способность оптического канала использовавшегося интерференционного микроскопа и в 2,9 раза лучше, чем экспериментально по-лученное значение разрешающей способности измерения линейных размеров в 3D рельефе.